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是泰安市2023年新招商項目，總投資15億元，主要生產(chǎn)純度6個9以上電子級硅烷、乙硅烷及一氯氫硅等產(chǎn)品，廣泛應用于超大規(guī)模集成電路、平面顯示器及新能源行業(yè)。

其中一期計劃投資8億元，占地229.15畝，總建筑面積93000平方米，主要建設生產(chǎn)車間、控制室、倉庫、罐區(qū)、充裝站及其他公輔工程配套設施，購置各類生產(chǎn)及輔助設備200臺套，采用三氯氫硅歧化法、硅烷直接合成法等工藝，建成后年產(chǎn)硅烷5000噸、乙硅烷50噸、二氯氫硅1000噸、一氯氫硅500噸、三氯硅烷10萬噸。

該項目科技含量高，是省重大科技創(chuàng)新工程項目，技術團隊核心專家來自日韓等國際電子材料領軍企業(yè)，乙硅烷屬國內首次工藝，解決國內集成電路、半導體所需高端氣體“卡脖子”問題，加快電子級硅烷氣國產(chǎn)替代進程。綠色成分足，能耗僅為同行業(yè)的2/3。帶動能力強，以該項目為依托，做強做大硅負極、氣凝膠等新能源、新材料產(chǎn)業(yè)，力爭5年內建成國內最具競爭力、具有國際影響力的氟硅新材料產(chǎn)業(yè)園。